Smit en Solaytec samen in nieuwe spatial ALD-toepassingen

Smit Ovens en Solaytec zijn een samenwerkingsverband aangegaan om het toepassingsgebied van zogenaamde spatial ALD te verbreden. Solaytec zet deze techniek nu in de markt voor passivatie van kristallijn silicium zonnecellen, maar samen met Smit gaat de TNO-spin-off zich nu ook richten op buffer- en barrièrelagen voor dunnefilm Cigs/CZTS-zonnecellen, die onder de vlag van Solliance worden ontwikkeld. De partners hebben daarnaast hun ogen laten vallen op speciale lagen voor oled-displays. De afgesproken rolverdeling daarbij is dat Solaytec zich met de depositiekop zal bezighouden en Smit met de machine-integratie.

Spatial ALD is een in Nederland ontwikkelde techniek om atoomlaagdepositie in een volcontinu industrieel proces te dwingen. In plaats van reactoren achtereenvolgens met verschillende gassen te vervullen en deze weer weg te pompen, is het proces ’in de ruimte uitgesmeerd‘ door substraten herhaaldelijk langs verschillende gaszones te voeren.